한국산학기술학회

발표유형		Poster

논문제목		RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SiOx 박막의 증착

논문저자		발표자 : 김재혁 공동저자 : 김기출
		(공동저자가 2인 이상일 경우에는 ','로 구분해 주세요. ex) 홍길동,길동이)

연락처		소속 : 목원대학교 이메일 : jhk000108@naver.com
		직위 : 학부생 휴대폰 : 010-8779-3021

투고분야		기계/재료

논문제출
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